清華新聞網(wǎng)2月5日電 2月2日，何梁何利基金2025年度頒獎(jiǎng)大會(huì)在北京舉行，54名杰出科技工作者榮獲2025年度何梁何利基金科學(xué)與技術(shù)獎(jiǎng)。其中，科學(xué)與技術(shù)進(jìn)步獎(jiǎng)32人，科學(xué)與技術(shù)創(chuàng)新獎(jiǎng)22人。清華大學(xué)機(jī)械系首席研究員路新春、環(huán)境學(xué)院教授劉會(huì)娟分別榮獲科學(xué)與技術(shù)創(chuàng)新獎(jiǎng)。
路新春
路新春，1966年5月出生于山東煙臺(tái)，清華大學(xué)機(jī)械工程系、清華大學(xué)高端裝備界面科學(xué)與技術(shù)全國(guó)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室首席研究員，博士生導(dǎo)師。1988年和1991年在吉林工業(yè)大學(xué)獲得學(xué)士和碩士學(xué)位，1994年在中國(guó)科學(xué)院金屬研究所獲得博士學(xué)位，1996年清華大學(xué)摩擦學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室博士后流動(dòng)站出站。
路新春長(zhǎng)期致力于納米摩擦學(xué)與超精表面制造理論與技術(shù)研究，聚焦集成電路制造關(guān)鍵裝備——化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）與減薄裝備及工藝的自主攻關(guān)。他主持了10余項(xiàng)國(guó)家級(jí)重大科研任務(wù)，在理論層面建立了化學(xué)機(jī)械拋光、超潔凈清洗與精密減薄的基礎(chǔ)理論體系；在技術(shù)層面，攻克了集成電路表面超精密制造的多區(qū)壓力調(diào)控、超潔凈清洗、減薄面形調(diào)控等一系列核心關(guān)鍵技術(shù)；在裝備研制與產(chǎn)業(yè)化方面，率先推出國(guó)內(nèi)首臺(tái)擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的12英寸CMP裝備及磨削拋光一體化減薄裝備，不僅填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)相關(guān)領(lǐng)域的技術(shù)空白，更成功推動(dòng)國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體高端裝備實(shí)現(xiàn)大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，有效解決了我國(guó)相關(guān)領(lǐng)域的“卡脖子”困境。
劉會(huì)娟
劉會(huì)娟，1972年生于河北，清華大學(xué)環(huán)境學(xué)院教授、區(qū)域環(huán)境安全全國(guó)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室主任。1995年在河北工業(yè)大學(xué)獲化學(xué)工程學(xué)士學(xué)位，1998年在大連理工大學(xué)獲環(huán)境科學(xué)碩士學(xué)位，2003年在中國(guó)科學(xué)院研究生院獲環(huán)境工程博士學(xué)位。
劉會(huì)娟長(zhǎng)期致力于基于自然過(guò)程的飲用水質(zhì)凈化及風(fēng)險(xiǎn)控制原理和工藝、以電化學(xué)為核心的工業(yè)廢水處理與資源回收技術(shù)等研究，曾獲國(guó)家技術(shù)發(fā)明獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)、國(guó)家科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)、北京市三八紅旗獎(jiǎng)?wù)隆⒐馊A工程科技獎(jiǎng)青年獎(jiǎng)、中國(guó)青年科技獎(jiǎng)等獎(jiǎng)項(xiàng)。
何梁何利基金由香港愛(ài)國(guó)金融家何善衡、梁銶琚、何添、利國(guó)偉于1994年創(chuàng)立，旨在獎(jiǎng)勵(lì)中國(guó)杰出科學(xué)家，服務(wù)于國(guó)家現(xiàn)代化建設(shè)，是我國(guó)規(guī)模大、權(quán)威性高、公信力強(qiáng)的社會(huì)力量科技獎(jiǎng)勵(lì)，31年來(lái)表彰獎(jiǎng)勵(lì)了1692位優(yōu)秀的科學(xué)家、工程師、產(chǎn)業(yè)領(lǐng)軍人才，在激勵(lì)自主創(chuàng)新、激發(fā)人才活力、弘揚(yáng)科學(xué)家精神等方面發(fā)揮了重要的作用。
供稿：環(huán)境學(xué)院 機(jī)械系
編輯：贠爾茹
審核：劉蔚如 黃思南
